ボッシュプロセスによるSi深掘りや、ICPエッチング装置やRIE装置によるナノレベルの高精度加工の結果です。

Si深掘り(ボッシュプロセス)

Si深掘り(非ボッシュプロセス)

Si、Poly-Si、SiNのエッチング

SiO₂のエッチング

SiCのエッチング