プラズマクリーナー

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各種半導体、電子デバイス表面のクリーニングやアッシング、改質を目的とした平行平板型プラズマクリーナーです。

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UVオゾンクリーナー

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「紫外線照射」、「高濃度オゾン」、「ステージヒーターによる熱」の相互作用で、シリコンウエハなどの基板や電極のクリーニングを行う、各種半導体、電子デバイス製造のためのドライ洗浄装置です。

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