Aqua Plasma®

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Aqua Plasma® クリーナーは主に水蒸気(H2O)を用いたプラズマ処理装置です。金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、樹脂接合、超親水化などの表面処理を、安全で環境に優しく行うことができます。

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プラズマクリーナー

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各種半導体、電子デバイス表面のクリーニングや改質、レジストのアッシングなどを目的とした平行平板型プラズマクリーナーです。

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UVオゾンクリーナー

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「紫外線照射」、「高濃度オゾン」、「ステージヒーターによる熱」の相互作用で、シリコンウエハなどの基板や電極のクリーニングを行う、各種半導体、電子デバイス製造のためのドライ洗浄装置です。

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