インプリント用の型の作製

研究開発用装置RIE-400iPBにより、幅5 μmのライン&スペースパターンの石英ガラスの加工。深さは6 μm。Crマスクが加工時に後退したため、順テーパー形状となっています。Crマスクに対する選択比は100:1程度。


《ご提供》

山形県工業技術センター様

プラスチックス 2018年12月号より引用