三次元構造の型の作製

グレースケール露光を行った厚膜レジストを用いた石英ガラスの立体加工。10 μm角の四角錘構造を形成しています。レジストに対するSiO₂の選択比は1：1程度。


《ご提供》

山形県工業技術センター様

プラスチックス 2018年12月号より引用

使用している製品

RIE-400iPB

技術資料