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製品情報
化合物半導体の加工
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プロセスデータ
化合物半導体の加工
GaN、GaAs、InPといったⅢ-Ⅴ族系の化合物半導体や4元系材料の高精度加工から高速加工までを紹介します。
GaNのエッチング
GaN/AlGaNの高選択比加工
GaNの逆テーパー加工
GaAsのエッチング
フォトニック結晶の作製
GaAsのVCSEL形成
プラズマスクライビング
InPのエッチング
InPレーザのリッジ形成
InPレーザの回折格子形成
InPのピラー形成
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