電界放出ディスプレイ用エミッタチップの製作

《産業技術総合研究所　つくばセンター　ご提供》

ロードロック式平行平板型RIE装置によるSiの等方性エッチング結果です。

使用している製品

RIE-200NL

技術資料

　　　　　　

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