論文
10kg以下の超小型衛星用
エレクトロスプレースラスタ
イオン液体を推進剤に用いる超小型衛星推進デバイス。アレイ化した針状電極の先端から正負イオンを放出し、実用的な推力を得る。シリコン深掘り装置Model: RIE-800iPBによる等方性エッチングとボッシュプロセスの組み合わせで十分な高さの針状電極を作製しています。
《ご提供》
《使用施設》
京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 MEMS用高速シリコンエッチング装置 Samco RIE-800iPB-KUにて加工
※ナノハブは、内外の研究者の研究を支援する役割を持った開かれた施設として運営されています。
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