サムコはLEDチップの製造工程に使用されるプラズマCVD装置、ドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を中心に一貫製造プロセスを提供する「One Stop Solution」を提唱しています。各工程に最適なLED製造装置を取り揃え、多数の納入実績を誇っています。

サファイアの表面加工
(PSS加工)

ICPエッチング装置

p-GaN層・活性層・
n-GaN層形成

n-GaN層表面出し

ICPエッチング装置

電極形成

素子分離加工

ICPエッチング装置

保護膜形成

プラズマCVD装置

コンタクトホール加工

RIE装置

ワイヤーボンディング前の洗浄

プラズマクリーナー

モールディング、
LEDの完成