サムコはLEDチップの製造工程に使用されるプラズマCVD装置、ドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を中心に一貫製造プロセスを提供する「One Stop Solution」を提唱しています。各工程に最適なLED製造装置を取り揃え、多数の納入実績を誇っています。
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サファイアの表面加工
(PSS加工)
ICPエッチング装置
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p-GaN層・活性層・
n-GaN層形成
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n-GaN層表面出し
ICPエッチング装置
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電極形成
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素子分離加工
ICPエッチング装置
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保護膜形成
プラズマCVD装置
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コンタクトホール加工
RIE装置
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ワイヤーボンディング前の洗浄
プラズマクリーナー
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モールディング、
LEDの完成