フォトニック結晶の製造工程におけるサムコのプラズマCVD装置、ドライエッチング装置、ドライ洗浄装置をご紹介します。

フォトリソグラフィー

フォトニック層の
エッチング

ICPエッチング装置

マスクの除去

ドライ洗浄

エアブリッジ加工
(ウェットエッチング)

フォトニック結晶導波路