半導体レーザの製造工程、および各工程で使用するサムコの装置をご紹介します。

グレーティング形成

結晶成長

マスク成膜

プラズマCVD装置

マスク加工

ICPエッチング装置

RIE装置

グレーティング加工

ICPエッチング装置

RIE装置

リッジ形成

結晶成長

マスク成膜

プラズマCVD装置

マスク加工

ICPエッチング装置

RIE装置

リッジ加工

ICPエッチング装置

RIE装置

結晶成長 埋め込み

保護膜形成

プラズマCVD装置

コンタクト形成

ICPエッチング装置

RIE装置

電極形成

スクライビング

ICPエッチング装置

端面への反射膜の成膜

プラズマCVD装置

ブレーキング

ワイヤーボンディング前の洗浄

プラズマクリーナー

パッケージング前の洗浄

プラズマクリーナー

半導体レーザ