Patterned Sapphire Substrate

PSS(Patterned Sapphire Substrate)加工は、LEDを高輝度化するためのサファイア基板の凹凸状の加工のことです。基板上に、直径2.5μm程度の円錐(コーン)形状を周期的に作成することで、GaNの結晶欠陥の低減と、GaN内部の反射による光の取り出し効率を改善する効果があります。

使用している製品

RIE-350iPC