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PSS(Patterned Sapphire Substrate)加工は、LEDを高輝度化するためのサファイア基板の凹凸状の加工のことです。基板上に、直径2.5μm程度の円錐(コーン)形状を周期的に作成することで、GaNの結晶欠陥の低減と、GaN内部の反射による光の取り出し効率を改善する効果があります。
使用している製品
RIE-350iPC
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