プラズマクリーナー PC-1100

概要

PC-1100は、プラスチックパッケージや液晶基板、ハイブリッドICなどの表面クリーニングに最適なバッチ式の平行平板型プラズマクリーナーです。
反応室内に電極棚を複数段装備できるため、小型部品からFPD用角型基板に至るまでさまざまな形状の基板の多数枚処理が可能です。また、3種類の処理モード(RIEモード、プラズマモード、ダウンストリームモード)を選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理を行うことが可能なプラズマクリーナーです。

特長

シェルフ型電極棚

2種類の電極棚(パワード電極棚とグランド電極棚)の差し込み位置を変えることで、プラズマモードの切り替えが可能です。また、電極棚を追加することで、多段処理が可能です。

3種類の処理モード

RIE、プラズマ、ダウンストリームの各モードを選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理が可能です。

自動運転

タッチパネル操作による自動運転が可能です。

応用例

・プラスチックパッケージ、液晶基板などの表面クリーニング
・光学部品などの精密洗浄
・フォトレジストアッシング
・繊維や高分子材料などの表面処理
・インクリムーバル

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