GaAs高周波デバイスの製造工程、および各工程で使用するサムコの装置をご紹介します。
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エピタキシャル成長
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インプラ用マスク成膜
プラズマCVD装置
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フォトリソグラフィー
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マスクのエッチング
ICPエッチング装置
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イオンの注入
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マスクの除去
プラズマクリーナー
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フォトリソグラフィー
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リセスエッチング
ICPエッチング装置
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電極形成
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保護膜の成膜
プラズマCVD装置
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フォトリソグラフィー
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コンタクトホール形成
ICPエッチング装置
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ウエハを
支持体に貼付け
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フォトリソグラフィー
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ビアホール加工
ICPエッチング装置
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電極形成
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プラズマダイシング
ICPエッチング装置
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パッケージング
プラズマクリーナー
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スマートフォン用
高周波デバイス