SiCパワーデバイスの製造工程、および各工程で使用するサムコの装置をご紹介します。

インプラ用
マスクの形成

液体ソース®CVD装置

マスクのエッチング

ICPエッチング装置

イオンインプラ+
マスク除去

SiO2膜の形成

液体ソース®CVD装置

SiO2のマスク加工

ICPエッチング装置

SiCのトレンチ加工

ICPエッチング装置

熱酸化+ゲート電極の形成

ゲート絶縁膜の形成

ALD装置

SiO2の加工

ICPエッチング装置

配線前のドライ洗浄

プラズマクリーナー