SiCパワーデバイスの製造工程、および各工程で使用するサムコの装置をご紹介します。
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インプラ用
マスクの形成
液体ソース®CVD装置
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マスクのエッチング
ICPエッチング装置
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イオンインプラ+
マスク除去
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SiO2膜の形成
液体ソース®CVD装置
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SiO2のマスク加工
ICPエッチング装置
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SiCのトレンチ加工
ICPエッチング装置
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熱酸化+ゲート電極の形成
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ゲート絶縁膜の形成
ALD装置
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SiO2の加工
ICPエッチング装置
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配線前のドライ洗浄
プラズマクリーナー