GaNパワーデバイスの製造工程、および各工程で使用するサムコの装置をご紹介します。

GaNの結晶成長

層間絶縁膜の形成

プラズマCVD装置

絶縁膜のエッチング

ICPエッチング装置

リセスエッチング

ICPエッチング装置

電極形成

パッシベーション膜の形成

プラズマCVD装置

コンタクトホール加工

RIE装置