プラズマクリーナー PC-300

概要

プラズマクリーナー Model: PC-300は、プラスチックパッケージやリードフレームのドライ洗浄、アッシング、有機フィルムなどの表面改質に適したバッチ式のプラズマドライ洗浄装置です。本装置は、RIEモード、プラズマモードから処理モードを選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理を行うことが可能です。また、省スペースで場所を選ばす、卓上型で非常にコンパクトな設計のプラズマクリーナーです。

特長

リバーシブル電極棚

電極棚を反転させることが可能で、プラグの差しこみ位置を変えることで、パワード電極とグランド電極に切り替わります。

コンパクト設計

省スペースで場所を選ばない、卓上型装置です。

自動運転

タッチパネル操作による自動運転が可能です。

応用例

・BGA、CSP、リードフレームの表面洗浄
・光学部品、金型などの精密洗浄
・有機フィルムなどの表面改質
・フォトレジストアッシング
・有機汚染層の除去、接着力向上全般

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