製品情報SiO₂のエッチング

RIE装置によるSiO₂のトレンチ加工

RIE-10NRによるSiO2のトレンチ加工例。S…

石英ガラスの立体加工（10μm角の四角錘構造）

グレースケール露光を行った厚膜レジストを用いた石英…

石英ガラスの立体加工（ø50 μmの段階構造）

グレースケール露光を行った厚膜レジストを用いた石英…

石英ガラスの微細加工

研究開発用装置RIE-400iPBにより、幅5 μ…

SiO₂のグレーティング形成

大面積平行平板型RIE装置による、SiO₂の異方性…

SiO₂の高速加工

ICPエッチング装置による、SiO₂の高速加工結果…

石英の150 μm深掘り

ICPエッチング装置による、石英の150 μmの深…