平行平板型RIE装置 RIE-300NR
ø300mm対応の平行平板型RIE装置

概要

RIE-300NRは、納入実績の豊富な平行平板型RIE装置『RIE-10NR』での経験をもとに開発したø300mmウエハ対応装置です。本装置では、Si、Poly-Si、SiO₂、SiNなどの各種シリコン薄膜の高精度エッチングが可能です。PLCコントロールで全自動運転及びプロセスパラメータの保存ができる高性能な装置です。

特長

ø300mmウエハ対応

反応室構造とガス導入方法を最適化することで、均一性よくエッチングすることが可能です。

全自動運転

操作はタッチパネルによる全自動運転であり、PLCコントロールによりプロセス管理やデータロギングが可能です。

応用例

・Si、Poly-Si、SiO₂、SiNなどの各種シリコン薄膜の高精度エッチング

・欠陥解析

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