製品情報プラズマクリーナー PC-2000

本装置は、500台以上の導入実績を持つ平行平板型バッチ式プラズマクリーナーの最新モデルです。半導体実装基板、ウエハ、光学部品、バイオ・ヘルスケア用製品の洗浄、アッシングおよび親水化などの表面改質に最適です。PE（プラズマエッチング）およびRIE（反応性イオンエッチング）から処理モードを選択でき、基板の種類や処理目的に応じた最適なプロセスを実現します。反応室には電極棚を複数段設置可能なため、小型部品から最大400 mm角の大型基板まで、多様な形状のワークを多数同時に処理することもできます。さらに、レシピ管理およびユーザー管理機能を備え、研究開発から生産用途まで幅広く対応します。

• 処理モード（PE、RIE）を選択し、基板の種類に応じた最適な処理が可能
• 処理モードは電極棚を入れ替えることで、容易に切り替え可能
• 防着板とOリングシールの採用により、清掃と保守が容易
• RFパワーを900 Wまで利用でき生産性向上
• 10.4 インチタッチパネルにより操作性向上
• Vdc、Vppと整合位置表示およびイベントログ機能を追加
• ドライポンプを筐体内部に設置し省スペース化

• BGA、CSPなどのプラスチックパッケージ、リードフレームの洗浄、表面改質
• 光学部品、金型の親水化
• フォトレジストアッシング
• DLC膜除去による金型の再生
• マイクロ流路、細胞培養シャーレなどの表面改質・親水化

• 電極棚の追加（最大 3段処理が可能）
• データロギング機構（PC付き）
• スロー排気・スローベントバルブ