製品情報プラズマクリーナー PC-2000

本装置は、半導体実装基板、光学部品、バイオ・医療用製品のドライ洗浄、表面改質に適した平行平板型プラズマクリーナーです。PE（プラズマエッチング）、RIE（反応性イオンエッチング）から処理モードを選択できるため、基板の種類、目的に応じた最適な処理を行うことができます。反応室に電極棚を複数段設置できるため、小型の部品から大型の角型基板に至るまで様々な形状の多数同時処理が可能です。また、レシピ管理やユーザーレベルの切り替え機能を備えており、研究から生産まで幅広い用途でご使用いただいております。

• 処理モード（PE、RIE）を選択し、基板の種類に応じた最適な処理が可能
• 処理モードは電極棚を入れ替えることで、容易に切り替え可能
• 防着板とOリングシールの採用により、清掃と保守が容易
• RFパワーを900 Wまで利用でき生産性向上
• 10.4 インチタッチパネルにより操作性向上

Vdc、Vppと整合位置表示およびイベントログ機能を追加

ドライポンプを筐体内部に設置し省スペース化

• BGA、CSPなどのプラスチックパッケージ、リードフレームの洗浄、表面改質
• 光学部品、金型の親水化
• フォトレジストアッシング
• DLC膜除去による金型の再生
• マイクロ流路、細胞培養シャーレなどの表面改質・親水化

• 電極棚の追加（最大 3段処理が可能）
• データロギング機構（PC付き）
• スロー排気・スローベントバルブ