Aqua Plasma® クリーナー AQ-2000
還元に、接合に、水が効く。画期的プラズマ処理装置。

概要

本装置は、水蒸気(H₂O)を用いた新しいプラズマ処理装置です。酸化した金属の還元、接合、親水化、有機物の分解を効率的かつ安全に行うことができます。反応室には電極棚を複数段設置可能なため、小型部品から最大400 mm角の大型基板まで、多様な形状のワークを多数同時に処理することもできます。さらに、レシピ管理およびユーザー管理機能を備え、研究開発から生産用途まで幅広く対応します。

特長

  • 還元速度は水素プラズマの２倍以上
  • アッシングレートは水素プラズマの４倍以上
  • 疎水性樹脂も超親水化（フッ素樹脂は除く）
  • 樹脂、ウエハや金属の接合前処理に最適
  • 酸素やアルゴンプラズマの利用も可能（一部オプション）
  • オールインワンによる省フットプリント(762 mm (W) x 1135 mm (D))
  • 水蒸気生成ユニットのワンタッチ起動
  • 最大3段までの多段処理に対応

応用例

  • 銀電極の表面還元、改質、洗浄
  • 銅電極の表面還元、改質、洗浄
  • 樹脂、ガラス、ウエハの接合（接着剤レス）、マイクロ流体チップ用途
  • 樹脂の表面改質、超親水化

オプション

  • ゼロ点調整用ピラニ真空計ユニット（メンテナンス用）
  • 電極用石英カバー（パワード電極のスパッタ防止用）

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