Aqua Plasma® クリーナー AQ-2000
還元に、接合に、水が効く。画期的プラズマ処理装置。

概要

AQ-2000は、主に水蒸気(H₂O)を用いたプラズマ処理装置です。金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、樹脂接合、超親水化などの表面処理を、安全で環境に優しく行うことができます。

→Aqua Plasma®について

特長

  • 金属酸化膜の安全な還元と有機物の洗浄を実現
  • 樹脂の常温接合と超親水化
  • 酸素（O₂）の添加により洗浄速度を高速化
  • オールインワンによる省フットプリント(762 mm (W) x 1135 mm (D))
  • 水蒸気生成ユニットのワンタッチ起動
  • 最大3段までの多段処理に対応

応用例

  • 銀電極の表面還元、改質、洗浄
  • 銅電極の表面還元、改質、洗浄
  • 樹脂、ガラスの常温接合（接着剤レス）、マイクロ流体チップ用途
  • 樹脂の表面改質、超親水化

オプション

  • ゼロ点調整用ピラニ真空計ユニット（メンテナンス用）
  • 電極用石英カバー（パワード電極のスパッタ防止用）

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