製品情報プラズマクリーナー

BGA、CSP、リードフレーム等の半導体アッセンブリー工程では、プラズマ洗浄を行うことで、チップと実装基板の電極を接続するワイヤーボンディングの接合性、モールディング樹脂との密着性やアンダーフィルの濡れ性などを改善することが可能です。
リバーシブル電極棚は、プラズマクリーナーへの様々なご要望にお応えすることができる電極棚です。電極棚を反転させることが可能で、プラグの差しこみ位置を変えることで、パワード電極とグランド電極に切り替わります。

プラズマクリーナーPC-300は、リバーシブル電極棚を採用しており、プラズマモードの切り替えが容易です。
また、シンプルな設計のため、低コストと高信頼性を兼ね備えています。