サムコで取り扱っている
プラズマクリーナー

各種半導体、電子デバイス表面のクリーニングやアッシング、改質を目的とした平行平板型プラズマクリーナーです。

  • AQ-2000

    還元性プラズマ洗浄装置

  • PC-1100

    400mm角基板対応の汎用装置

  • PC-300

    コンパクトな平行平板型装置

プラズマクリーナーの特徴

リバーシブル電極棚

リバーシブル電極棚の構造

プラズマクリーナー PC-300

BGA、CSP、リードフレーム等の半導体アッセンブリー工程では、プラズマ洗浄を行うことで、チップと実装基板の電極を接続するワイヤーボンディングの接合性、モールディング樹脂との密着性やアンダーフィルの濡れ性などを改善することが可能です。
リバーシブル電極棚は、プラズマクリーナーへの様々なご要望にお応えすることができる電極棚です。電極棚を反転させることが可能で、プラグの差しこみ位置を変えることで、パワード電極とグランド電極に切り替わります。

プラズマクリーナーPC-300は、リバーシブル電極棚を採用しており、プラズマモードの切り替えが容易です。
また、シンプルな設計のため、低コストと高信頼性を兼ね備えています。

プラズマを利用したドライ洗浄装置

基板の表面に付着している有機物をプラズマで処理するクリーナー、洗浄装置です。プラスチックパッケージやリードフレーム、液晶基板のクリーニングなどの完全ドライ処理を目的としています。

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