UVオゾンクリーナー UV-1

概要

UV-1は、各種基板のドライ処理が可能なUVオゾンクリーナーです。
フォトレジストアッシング、シリコンウエハのクリーニングなど有機物除去や表面改質が可能です。

UVランプとオゾナイザと加熱ステージを備え、紫外線照射とオゾンと熱の相互作用により、基板に電気的ダメージを与えることなく、効率よく洗浄・表面改質することができます。

特長

紫外線×オゾン×熱

紫外線(UV)と高濃度オゾン(O₃)とステージヒーターの熱による高効率のクリーニングが可能です。

電気的ダメージのないドライプロセス

プラズマを使用しないため、電界による素子へのダメージ(電子またはイオン衝撃)がありません。

オゾン除去器を搭載

別置きの非貴金属系触媒のオゾン除去器により、オゾン処理設備が不要です。

応用例

・フォトレジストのアッシング、ディスカム
・親水化処理
・シリコン、化合物半導体、水晶、ITO膜、レンズなどのクリーニング
・有機物除去、表面改質

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