製品情報Aqua Plasma® クリーナー AQ-500

本装置は、水蒸気(H₂O)を用いた新しいプラズマ処理装置です。酸化した金属の還元、接合、親水化、有機物の分解を効率的かつ安全に行うことができます。

• 還元速度は水素プラズマの２倍以上
• アッシングレートは水素プラズマの４倍以上
• 疎水性樹脂も超親水化（フッ素樹脂は除く）
• 樹脂、ウエハや金属の接合前処理に最適
• 酸素やアルゴンプラズマの利用も可能（一部オプション）
• オールインワンによる省フットプリント(540 mm (W) x 650 mm (D))
• 水蒸気生成ユニットのワンタッチ起動

• 銀、銅表面酸化層の還元
• 樹脂、ガラスのウエハの接合（接着剤レス）
• 超親水化
• 有機物の残渣除去