製品情報GaAsのVCSEL形成

VCSEL(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser)は、光の共振する方向が基板面に対して垂直な半導体レーザで、面発光レーザとも呼ばれます。干渉型エンドポイントモニタを用いて、深さ8μmでのエッチングストップを狙い、狙い通りの加工を実現しています。

側壁や底面の荒れもなく、良好な加工が達成できています。