InPの高精度加工

直径0.7μm、深さ4μmの、垂直で側壁荒れのない、非常にきれいなピラーが形成できています。また、底面荒れもありません。

この加工は、半導体レーザやフォトニック結晶へ応用できます。

使用している製品

RIE-400iP