InPの高精度加工

幅1.８μm、深さ2.5μmの異方性かつ裾引きが小さいリッジ形状が実現しています。側壁の付着物もほとんど見られず、エッチング速度は350nm/minが得られています。マスクはSiO₂。

使用している製品

RIE-400iP