アスペクト比32への100nm成膜

開口径1.25μm ×深さ40μm (アスペクト比32)のホール内壁に、ステップカバレージ性よく成膜できています。SEM写真は底部。また、上部・側面・底面に被覆された膜厚がすべて100nmと、ALDならではの均一な膜厚の成膜が実現しています。

使用している製品

AL-1