サムコで取り扱っている
RIE装置
創業当時から培ってきた豊富な経験と実績をもとに開発した平行平板型RIE（反応性イオンエッチング）装置です。
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平行平板型RIE装置 RIE-10NR
豊富な納入実績を誇る汎用機
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平行平板型RIE装置 RIE-200NL
塩素対応のロードロック式装置
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平行平板型RIE装置 RIE-200C
２カセット高速大気搬送装置
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平行平板型RIE装置 RIE-300NR
ø300 mm対応RIE装置
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コンパクトエッチャ― FA-1
コンパクト設計
