フッ素含有ポリイミドの垂直加工

平行平板型RIE装置によるポリイミドの導波路コアの形成。a-Siをマスクとして、ポリイミドを10μmエッチングしています。

光導波路用途では、ポリイミドにフッ素を含有させ、通信波長より光吸収位置を移動させています。

使用している製品

RIE-10NR