液体原料SN-2で成膜したSiNx膜

SN-2-SiNx膜のFTIR波形は、SiH4-SiNx膜の波形と比較して、各結合のピーク位置がほぼ同じになっています。

また、SN-2は有機材料では無いため、カーボンを含むピークも見られません。

つまり、SiH4-SiNxと同等の膜質のSiNx膜の形成が可能と言えます。

使用している製品

PD-220NL

技術資料