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LEDパッケージでは電気的そして光学的に優れた銀が電極や反射材として用いられています。半導体パッケージで通常用いられる酸素プラズマは銀が黒く酸化変色してしまうため、使用できません。
Aqua Plasma®は還元作用を用いたプラズマクリーニングプロセスであるため、銀を酸化させることなく、洗浄することが可能です。酸化銀をAqua Plasma®で処理した結果(写真右)、酸化され黒く変色していた部分が還元され、元の銀色に戻っています。
使用している製品
AQ-2000