Si深掘り装置 RIE-802BCT
反応室2室と高精度アライナーを備えた量産機

概要

RIE-802BCTは、放電形式に誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma)を採用した反応室を2室持つ量産用シリコン深掘り装置です。

大気カセットとウエハエッジプロテクションリングを標準装備し、さらに高精度のウエハアライナーも搭載しています。

高速なエッチングレートとレジストとの選択比を保ちながら、50以上の高アスペクト比加工や低スカロップ加工が可能な高性能装置です。

特長

50以上の高アスペクト比加工
独自のプラズマ発生源と反応器構造を有し、垂直なエッチング形状を維持した状態で、高アスペクト比加工が可能です。

低スカロップ加工
ガスの高速切替を行うことにより、エッチングレートを維持したままスカロップの低減が可能です。

豊富なプロセスライブラリ
2003年、サムコは日本の装置メーカーとして初めてボッシュプロセスのライセンスを取得しました。それ以来、蓄積してきたプロセスライブラリにより様々な形状、材料の加工が可能です。

応用例

・MEMS(加速度センサ、ジャイロセンサ、圧力センサ、アクチュエータなど)の製作

・インクジェットプリンタヘッドの加工

・シリコン貫通ビア(TSV)の形成

・パワーデバイス(スーパージャンクションMOSFET)の製作

・プラズマダイシング

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