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サムコ、東北大学へ最先端クラスター装置「クラスターH™」を納入
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マルチチャンバープラズマCVD装置『PD-2203LC』の販売を開始
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次世代電子デバイスの研究開発に。
新型プラズマALD装置『AD-800LP』の販売を開始 -
電子デバイス製造向けクラスターツールシステム「クラスターH™」の販売を開始
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UVオゾンクリーナー 型式UV-1の処分方法
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SiCパワーデバイス向けICPエッチング装置の受注好調
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温度コントローラー Huber社製Unistat Tango wl 208V-60Hzの自然冷媒への切り替えのご連絡
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革新的なプラズマ洗浄プロセス「Aqua Plasma™」を開発
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スウェーデンのSiCエピタキシャル成膜装置メーカーと販売代理店契約を締結
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電子デバイス向け原子層堆積（ALD）装置の販売を開始
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「水銀に関する水俣条約」についてのお知らせ
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温度コントローラーをご使用のお客様へのフロン排出抑制法施行に伴うお願い
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パワーデバイス向けGaN on Si のMOCVD装置のデモ機を京都本社開発部門に設置
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MEMS向け本格量産用シリコンディープエッチング装置『RIE-800iPBC』をセミコン・ジャパン2013で紹介
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SiCパワーデバイス向け 本格量産用ドライエッチング装置『RIE-600iPC』の販売を開始
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電子部品生産用ドライエッチング装置の受注好調
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SiCパワーデバイス向けドライエッチング装置『RIE-600iP』の販売を開始
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アジア市場向け新装置『RIE-331iPC』の販売を開始
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12インチウエハー用絶縁膜形成装置『PD-330STC』の販売を開始
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台湾のLEDメーカーからの受注好調