トピックス

2021年

2021年05月27日

[動画] 水蒸気プラズマ接合を用いたCOP製マイクロ流路作製技術

 文部科学省・微細加工プラットフォーム主催の「微細加工プロセス技術セミナー」が毎月1回程度オンライン開催されています。その一環として、京都大学・ナノテクノロジーハブ拠点(ナノハブ)の土屋智由教授が「水蒸気プラズマ接合を用いたCOP製マイクロ流路作製技術」をご講演されました。ご講演の中で、当社製品であるAQ-500Aqua Plasma® (水蒸気プラズマ)を用いたCOPの接合技術についてご紹介いただいておりますので、ご講演動画を案内いたします。


 ナノハブでは今回ご紹介いただいたAQ-500や、当社のMEMS製造用Si深掘りドライエッチング装置RIE-800iPBなどご使用いただけます。


■お問い合わせ

サムコ株式会社 広報・IR室

[TEL] (075)621-7841

[E-mail] koho@samco.co.jp