半導体デバイスを製造するために必要な「製造装置」のことです。
　半導体は現代社会においてスマートフォンや自動車などあらゆる分野、産業で利用されています。その加工には¹マイクロメートル(µm)、ナノメートル(nm)レベルの精度が必要とされています。µmやnmは原子・分子の構造を表すようなごく小さな世界の単位です。そのため、半導体を加工することを人の手で行うことは不可能であり、専用の加工装置が必要となります。
　半導体製造装置は、私たちの暮らしを快適にする半導体や電子部品の進歩を陰で支える、さまざまなテクノロジーを高度に結合した最先端ツールです。

¹ 1µm＝1/1,000mm
　1nm＝1/1,000,000mm