小型のバッチ式プラズマ処理装置（Model : PC-300）の販売を開始しました。
今回販売を開始した『PC-300』は、汎用のバッチ式プラズマ処理装置『PC-1000』での豊富な実績をもとに開発した小型、省スペースタイプで、コストパフォーマンスに優れた他社に例のない新型機種です。
プラスチックパッケージやリードフレーム、光学部品、金型などのプラズマドライ洗浄全般に適しており、少量多品種の個別ラインに対応しています。
RIEモード、プラズマモードから処理モードを選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理が可能であり、タッチパネル装備でプロセスパラメーターの保存やデータロギング機能も標準装備するなどの特長があります。
なお、この装置は京都新聞(H17.12.2)、日刊工業新聞(H17.12.2)、日経産業新聞(H17.12.15)、半導体産業新聞(H17.12.28)の各紙で紹介されました。