会期 2020年12月14日（月）～17日（木）
（開催期間中の内容は2021年1月15日までご覧いただけます。）
リンク：SEMICON Japan Virtual 2020 公式サイト
来る12月14日から17日までの4日間、エレクトロニクス製造サプライチェーンの国際展示会である『SEMICON Japan Virtual』が開催されます。
当社は、化合物半導体および電子部品向けのドライエッチング装置、CVD装置、ドライ洗浄装置のリーディングカンパニーとして、5Gや自動運転、IoTなどの技術革新が進む中、高周波フィルター、面発光レーザー、マイクロLED、次世代パワーデバイスといった応用分野で活躍の場が広がっています。
本展示会では、小径ウエハ専用の省スペース生産用ICPエッチング装置『RIE-400iPC』や、金属や誘電体などの難エッチング材料加工を得意とする『RIE-800iPC』を最新のプロセスデータとともに紹介します。また、ナノからマイクロレベルのSiNおよびSiO2薄膜を形成するプラズマCVD装置やALD装置を紹介いたします。最後に、洗浄・アッシング分野では、Aqua PlasmaⓇクリーナー、UVオゾンクリーナーを紹介し、研究から生産まで幅広いお客様に装置をご提案いたします。