去る10月31日から11月1日の3日間、札幌市民交流プラザにおいて開催されました電気学会センサ・マイクロマシン部門主催の第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにおきまして、当社製品技術部の寺井ら6名（寺井弘和、有本昌平、田中貴也、橋本泰知、中野博彦、辻理）による研究論文「減圧水蒸気プラズマによる酸化銅の還元」が最優秀技術論文賞を受賞いたしました。尚、本論文はAqua Plasma®による酸化銅の還元についての研究を紹介したものです。めっきやボンディング前など、銅電極を有する半導体やセンサの製造工程への応用が期待されています。

授与された賞状