10月2日から5日までの4日間、京都大学桂キャンパス ローム記念館で第11回APCPST（Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology）と第25回SPSM（Symposium on Plasma Science for Materials）の合同会議が開催されました。日本をはじめアジア・環太平洋地域のプラズマ研究に携わる研究者の参加し、日本が近隣諸国と不安定な状況にあるにもかかわらず招待講演含め413件の発表があり、活発な意見交換や交流が行われ、盛況のうちに閉幕いたしました。

　今回の合同会議は、企業から参加しやすい会議となるよう「企業への貢献を基軸としたアカデミックの活性化と若者の育成」をコンセプトに、企業からの技術報告も行われる大変ユニークな国際会議となり、当社社長の辻 理が実行委員会の委員長を務めました。

　また、当社は、合同会議のポスターセッションにおいて、最新のボッシュプロセスによるSiエッチング、当社が得意とする液体原料によるTSVでの絶縁膜形成、米国シリコンバレーのオプトフィルムス研究所で研究を進めている炭素-窒化物系薄膜の形成についての3件を発表し、多くの参加者との間で質疑応答が行われました。

　また、参加者に配られるコンファレンスバッグの提供のほか、島津製作所や京セラとともに企業視察の受入も行い、積極的な産学交流についても高い評価を頂きました。