会期 2025年12月17日（水）～19日（金）
会場 東京ビッグサイト
ブースNo． S1104 （南ホール入り口すぐ）
半導体製造装置の先端技術が集結する日本最大の展示会「SEMICON Japan 2025」が今年も東京ビッグサイトで開催されます。
当社は、クラスターツールシステム「クラスターH™」、ALE（原子層加工）装置、クライオICPエッチング装置、枚葉式Aqua Plasma®装置などを最新のプロセスデータとともに展示します。さらに、カセット式反応室2室ALD装置「AD-802LPC」、リモートプラズマ方式に対応したオープンロードALD装置「AD-10P」、⌀8"対応のSi犠牲層除去XeF2エッチャー「VPE-220NL」といった新製品を紹介します。また、12月18日（木）の16時からのハッピーアワーでは恒例となりました黄桜(株)様の純米大吟醸酒を振る舞います。
当社ブースは南ホール入り口エスカレーターを下りた正面にございます。SEMICON Japanにお越しの際は、ぜひお立ち寄りください。皆様のご来場を心よりお待ちしております。
SEMICON Japan2025-サムコブース案内状.pdf
セミコンジャパン2024のサムコブース