会　　　　期：2016年5月16日（月）~19日（木）

会　　　　場：Hyatt Regency Miami, Florida, USA

ブースNo.：318

 

　来る5月16日から19日まで、化合物半導体に関係する製造装置、材料関連メーカーや大学研究機関が一同に会する国際会議CS MANTECH 2016が米国フロリダ州マイアミのハイアットリージェンシーで開催されます。

　当社は化合物半導体の材料加工装置のトップメーカーとして本会議には毎年出展しております。新製品の原子層堆積（ALD）装置を紹介し、GaNパワーデバイスやSiCパワーデバイス向けの先端加工技術を中心に展示いたします。