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以莎姆克設立以來累積至今的經驗和實際銷售成績為基礎開發出來的乾式蝕刻設備。從量產型到緊湊型設計,我們的設備適用多種用途。

RIE-1C

RIE-1C

  • 桌上型RIE設備
  • 最大可處理4英吋晶圓
  • 低成本
  • 可用於失效分析

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RIE-10NR

RIE-10NR

  • 緊湊型設計
  • 最大可處理8英吋晶圓

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RIE-200NL

RIE-200NL

  • 載有晶圓搬送腔體
  • 最大可處理8英吋晶圓

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RIE-300NR

RIE-300NR

  • 半量產型設備
  • 最大可處理12英吋晶圓

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RIE-200C (Cassette-to-Cassette)

RIE-200C

  • 量產型設備
  • 最大可處理8英吋晶圓

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RIE-200LC (Cassette-to-Cassette)

RIE-200LC

  • 量產型設備
  • 最大可處理8英吋晶圓

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