Process Data

硅

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3D-LSI

3D超大規模集成電路 [詳細]

使用SAMCO RIE-800iPB

Nano-structured Si Device

奈米矽元件[詳細]

使用SAMCO RIE-200NL
[產業技術總合研究所 筑波中心提供]

3D-LSI

3D超大規模集成電路[詳細]

使用SAMCO LS-CVD設備

Failure Analysis

故障分析[詳細]

使用SAMCO RIE-200iP

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