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企業名 莎姆克股份有限公司 SAMCO INC.
成立 1979年9月1日
總公司

日本京都市伏見區竹田藁屋町36

36 Waraya-cho, Takeda, Fushimi-ku
Kyoto, 612-8443, Japan

電話 +81-75-621-7841
資本額 12億1378萬7288日圓
董事長 辻理
營業額 42億3300萬日圓(2014年7月)
員工數 166名(2014年7月)
股票代碼

東京證券交易所第一部市場

代碼:6387

事業內容

半導體等電子元件製造設備的生產及銷售

沉積設備、乾式蝕刻設備、乾式洗淨設備等

主要製品

〈薄膜成長分野〉
•MOCVD設備
•電漿CVD設備
•液態源CVD設備

 

〈微細加工分野〉
•反應性離子蝕刻設備
•ICP蝕刻設備
•深反應性離子蝕刻設備

 

〈表面洗淨分野〉
•電漿洗淨設備
•紫外線-臭氧(UV-O₃)洗淨設備

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