Application

RF Device

HOME > 應用 >高頻電子器件

Manufacturing Process

化合物半導體晶圓

RF Devices

MOCVD

GaN外延生長

RF Devices

電漿CVD

PD-220LC

沉積隔離層

RF Devices

微影

RF Devices

乾式蝕刻

RIE-200iPC

RIE-200LC

蝕刻隔離層

RF Devices

崁入離子

RF Devices

清除隔離層

RF Devices

微影

RF Devices

乾式蝕刻

RIE-200iPC

RIE-200LC

形成凹處

RF Devices

形成電極

RF Devices

電漿CVD

PD-220LC

沉積保護膜

RF Devices

微影

RF Devices

乾式蝕刻

RIE-200iPC

RIE-200LC

蝕刻接觸孔

RF Devices

將晶圓固定於支撐體上

RF Devices

微影

RF Devices

乾式蝕刻

RIE-200iPC

接觸孔加工

*須冷卻晶圓

RF Devices

乾式蝕刻

RIE-200iPC

電漿CVD

PD-220LC

形成電極

RF Devices

乾式洗淨

PC-1100

UV-300HC

切片並封裝

RF Devices

手機用高頻電子器件

RF Devices

CONTACT US

TECH NOTES

Back to Top