エピタキシャル成膜装置 Epiluvac EPI 1000

概要

当社は、2015年12月にスウェーデンの炭化ケイ素(SiC)エピタキシャル成膜装置メーカーのEpiluvac ABと同社製品の販売代理店契約を締結しました。
 Epiluvac社は世界の代表的な研究機関で使われるSiCエピタキシャル成膜装置の開発、製造、販売に長年携わってきた同社の経営陣らによって2014年に設立され、パワー半導体向けを中心とするSiCエピタキシャル成膜装置の開発、製造を行うベンチャー企業です。

特長

  • ■SiC、GaN用エピタキシャル成膜装置
  • 誘導加熱式横型ホットウォールCVD方式
  • ■枚葉ウエハのマニュアルロード
  • ■信頼性の高いプロセスと良好な均一性
  • ■最大ø150 mm (6") ウエハ対応

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