DLCコーティング装置 PD-100D
ダイアモンドライクカーボン(Diamond-like Carbon)

概要

PD-100Dは、液体ソース、気体ソースによるDLC(Diamond-like Carbon)膜形成用のプラズマCVD装置です。

カソード側の高いイオンエネルギーを持ったイオンシース内で、基板を加熱することなく薄膜および厚膜のダイアモンド状の硬質炭素膜を形成することが可能です。

特長

・従来のスパッタ法による成膜に比べ、高速成膜が可能。

・薄膜から厚膜(20~30μm)まで、高硬度、低ストレスで成膜可能。

・良好な成膜安定性。

・膜特性の広範な制御が可能。

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