プラズマクリーナー AQ-2000
銀に効く、銅に効く。安全な還元性プラズマクリーナー。

概要

プラズマクリーナー Model:AQ-2000は、主に水蒸気(H₂O)を用いたプラズマドライ洗浄装置です。金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、フォトレジストのアッシング、親水化などの表面処理を、安全に効率よく行うことができます。

Aqua Plasma®について

特長

・Aqua Plasma®による、金属酸化膜の安全な還元と洗浄を実現

・水蒸気生成、供給量の自動コントロールシステムを内蔵

・省設置スペース(762mm(W) x 1135mm(D))

応用例

・銀電極の還元、改質、洗浄

・銅電極の還元、改質、洗浄

・樹脂の表面改質、親水化

・フォトレジストのアッシング

オプション

・ピラニー真空計ユニット(メンテナンス用)

・石英カバー(パワード電極のスパッタ防止用)

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