ロードロック室を中心に反応室を3室まで設置することが可能なモジュール方式の研究試作用プラズマCVD装置（Model：PD-2203L、通称：Cluster Lab）の販売を開始しました。

　今回販売を開始した『PD-2203L』は、液晶試作プロセスや有機EL用封止膜の形成、アモルファスシリコン電子部品の製作をはじめとするさまざまな研究試作用途でのシリコン窒化膜、シリコン酸化膜、アモルファスシリコン膜や絶縁膜、半導体膜などの形成を目的とした世界的にもユニークなクラスター方式のプラズマCVD装置です。

　クラスターラボは、ロードロック室を中心に反応室を3室まで設置することが可能なモジュール方式の研究試作用プラズマCVD装置です。
　同一反応室で異種プロセスを連続して行う場合、相互汚染が生じやすく、作業効率の低下につながります。 本装置は、複数のプラズマ反応室を設置することで、それぞれ独立したプラズマ処理専用の反応室として使用することが可能なクラスタータイプのCVD装置です。
　ロードロック室を経て真空状態のまま試料を搬送し、異なる成膜プロセスを連続して行うことが可能です。

　本装置には、反応室3室タイプ（Model:PD-2203L）のほか、反応室1室タイプ（Model:PD-2201L）と2室タイプ（Model:PD-2202L）もあり、PD-2201LとPD-2202Lは、オプションの反応室ユニット（Model:PD-2201a）の増設で装置納入後もプラズマ反応室を最大3室まで設置することが可能です。

なお、この装置は京都新聞(H17.5.20)、日経産業新聞(H17.5.24)、日刊工業新聞(H17.5.24)の各紙で紹介されました。