電漿清洗機 PC-300
精簡電漿清洗機
概要
PC-300是1台平行平板的電漿清洗機. 用於清洗基板等樣本表面上的有機及無機污染.反應室可放置多片電極棚. 加上有彈性的電極棚擺置可支援從研究到小量生產的廣汎製品批次處理.
特色
- 最大可處理 320 mm x 230 mm
- 有彈性的電極棚擺設可選擇反應離子(RIE)或電漿(Plasma)蝕刻模式來處理多種樣本.
- 不占空間的圓滑且精簡的設計.
- “只使用一個按鈕”的完全自動控制及全程手動操作.
- PLC 控制的觸控面板提供直覺性的圖形界面.
- 乾式真空幫浦及設備擺置易於進行保養.
- 擁有全球超過150台實績的可靠性及耐久性系統.
應用
- 塑膠封裝及引線框架表面清洗
- 光學元件及模具的精密清洗
- 表面改質(親水性及增進附著力)
- 光阻的灰化，去除，清除殘留(descum)
- 去除有機污染物
